前不久,日本国Gigaphoton企业宣布,产品研发出拥有作为生产触控显示屏(FPD)的超过激光退火工艺流程用准分子激光器GIGANEX系列产品。前不久将该激光发生器装有日本V-Technology企业的超过激光退火设备上,供应给了大容量液晶显示屏生产机器设备工厂作为LTPS(超低温多晶硅)TFT液晶显示屏面板生产。 它是一款运用于很高的可靠性半导体材料光刻用准分子激光器的热处理工艺用准分子激光器,是仅作V-Technology生产的设备用以的专用机。根据导入了解的a-Si(非晶硅)面板生产工艺流程,使a-Si向p-Si(多晶硅)结晶体化,可生产用过去a-Si没法生产的8K等低细腻面板。
此外还可完成过去激光退火加工工艺没法搭建的大中型面板规格的生产,可合乎生产50~70英寸TV面板的大容量液晶显示屏生产机器设备工厂的回绝。 GIGANEX是朝向FPD生产、软性元器件加工工艺及光刻之外的半导体材料生产等行业的准分子激光器商品的新知名品牌。
Gigaphoton已在5月22~27日于英国举行的DisplayWeek2016上,展览会了用GIGANEX生产的大批量生产面板。
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